产品技术

产品技术

Products

金刚石长晶设备

所属分类:

产品概述

必发888唯一官网半导体运用先进工艺,以晶体生长工艺技术为导向,研发出金刚石长晶设备。其所使用的真空微波电浆系统是智能化、高科技真空电浆运用的主流。
立即联系

金刚石长晶设备


Intelligent MPCVD Dimond Growth System (IMD)系列金刚石晶体生长系统,是实现高质量金刚石晶体生长、高纯度晶体薄膜沉积、高温晶体热处理的专业设备。广泛应用于金刚石晶体生长、原料沉积、晶体热处理领域。

 

技术参数 

序号

项目

规格/参数

01

尺寸(约)

1450L*1130W*1880H (mm)

02

重量(约)

380 kg

03

微波功率

6kw/2.45GHZ

04

腔体材料

Stainless Steel

05

冷却方式

Water-cooling

06

底盘高度

50mm(2inch)

07

主要气体管道

4路MFC

08

工作压力范围

10-200 torr

09

真空检漏值

1X10-9mbar.l/sec

10

真空泵

Rotary Pump[(18/22)m3/h(50/60HZ)]

11

CDA压力

5-7kg/cm2

12

水压

5-7kg/cm2

13

电压

3Φ400V±10%/50Hz/60Hz

14

电流

30 A

 

亮点

我们研发的金刚石专业设备属国内领先,设备自动化程序高、控制精度高,所生产的产品质量优,成品率高,能耗极低。生产人员拥有多年CVD法生产经验和技术。

关键词:

MPCVD

化学气相沉积法

Copyright © 2023 必发888唯一官网 版权所有.  

服务热线: 0513-87276777

地 址:江苏省如皋市电信东一路6号

邮箱: service@zorrun.com

我们会及时给您反馈

提交需求,联系我们

注:请填写以下申请信息,我们会在收到申请的一周内与您联系。

确认提交
XML 地图